박막 흡착, 대전방지, 평탄도 유지 고정도, 고성능을 가진 흡착척 이제는 POROUS CERAMIC VACUUM CHUCK 입니다.
알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO2), Si, SiC, AiN 외 다양한 세라믹 소재를 통한 장비 부품 및 소모품 주문 제작
VIEWPOT WINDOW에서 Gas Injector 및 기타 장비 부품까지 다양한 제품을 가장 경쟁력 있게 공급 합니다.
O2 플라즈마 환경에서 벗어나게 됨으로써 생기는 쿼츠 및 세라믹 부품의 내식각성에 대한 솔루션을 제공해 드립니다.
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