SiC, Si, AlN, etc
Feature
Silicon (Si)
반도체소자 재료로서 광범위하게 사용되는 실리콘(Silicon)은 산화물인 SiO₂의 형태로 모래, 암석, 광석등에 풍부하게 존재하고 있어 매우 안정적으로 반도체 산업에 공급될 수 있는 우수한 재료입니다.실리콘은 정제과정을 거쳐 99.9999…%의 초고순도 단결정 구조를 갖고, 온도 변화에 따른 물리적, 기계적 성질변화가 적어 비교적 고온 (약 200℃ 정도까지) 에서도 소자가 동작하는 등 강력한 내구성, 고기능성, 고신뢰성을 가지고 있습니다.
현재 반도체 산업에서 다양한 형태로 이용되며 실리콘을 이용해 제조된 부품들은 각종 전자제품, 사업 자동화 기계, 컴퓨터, 인공위성 등 오늘날 전 산업 분야에 영향을 미치고 있습니다.
Silicon Carbide (SiC)
SiC 소재는 강한 공유결합 물질로 다른 세라믹 재료에 비하여 열 전도율과 경도가 높고 내플라즈마성, 내산화성, 내마모 성, 내부식성, 고온 안정성 및 열충격 저항성이 우수한 소재입니다.반도체공정중 particle 발생이 없어 반도체 제조 공정용 소재로써 활용할 수 있는 우수한 특성을 갖고 있습니다.
기존 반도체 공정에서 많이 사용되었던 실리콘, 석영 및 알루미나를 대체하는 소재로서 SiC(Silicon carbide) 재질의 부품 비중이 급격히 증가하는 추세 입니다.
Aluminium Nitride (AlN)
알루미늄 나이트라이드(AlN)는 300MPa의 굴곡강도를 가지므로 알루미나와 유사하고 열전도도가 170~200W/mK로 Al2O3 에 비해 약 10배 높으며 열팽창계수가 4.2ppm/℃로 실리 콘과 유사한 소재입니다.이러한 독특한 특성 때문에 파워 모듈의 열방출용 기판이나 8W급 이상의 고출력이 요구 되는 조명시장과 자동차용 헤드램프 시장으로의 사용이 점차 늘어나고 있습니다.
